纳米压痕

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制样要求

1、样品要求为圆柱体或方形，直径3-30mm，高度0-10mm。薄片：水平尺寸5mm×5mm~20mm×20mm，厚度0.5mm~6mm。圆柱：直径Φ31mm，厚度20mm~25mm，通常为镶样。

2、表面质量：样品上下面平行，测试面抛光，待测表面为光滑表面(Ra<10nm)或超光滑表面(Ra<1nm)，没有肉眼可见划痕。不得有油污、颗粒物等污染物。对于表面比较粗糙的样品，测试结果会比较离散，建议测试点数不低于10个;

3、薄膜样品需要制样测，不规则样品或者过小的样品需要硬树脂镶嵌后抛光处理。

4、样品的镶嵌，一定要用硬树脂。连续刚度模式或者硬度大于20Gpa的样品请咨询工作人员，被测表面硬度超过20Gpa或磨损实验请自备压针(2.4万/支)。

5、试样厚度至少大于压入深度h的10倍以上，压入深度h至少是粗糙度Ra的20倍;压入深度小于100nm数据可靠度不高;

6、上下表面平行抛光，直径不超过30mm，高度不超过20mm，如果高度超过10mm，直径需保证是30mm左右，如果直径小于10mm，那么高度建议5mm以下，利于样品测试过程中的稳固;如果是镶的样品，务必加工成直径30mm，要不然容易打偏。

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科研树

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